二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293704454 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一款尖端擴散爐及配件設備，提供高性能資訊及精密處理需求的精確度。該系統量身定制，以滿足半導體制造商的需求，還支持密集的定制處理應用。先進的擴散爐提供了廣泛的控制設置和功能，可以根據工作要求進行調整。它配有高溫直線石英爐,可控制高達3,000 °C的溫度。直接與此相連的是氣體輸送單元，提供對氣體流動的手動或自動控制，並允許用戶精確控制背壓、流量和輸送壓力。此外，氟化學氣相沈積室確保按照所需的化學氣相濃度供應化學氣相組分。TEL ALPHA-8S機由兩個基本部件組成。首先是熔爐本身，配有石英室，裏面裝有線性石英爐。此外，該爐允許通過外部加熱器控制器和溫度傳感器對石英室進行溫度和大氣監測。該工具還配備了石墨加熱器，為石英室提供均勻加熱，以及電子束加熱器，以精確控制烤箱和溫度均勻性。資產的第二部分包括高性能配件。真空泵確保氣體直接輸送到外部環境。此外，擴散管允許用戶監測進入和離開爐子的氣體，進一步允許精確控制溫度和大氣。此外，該模型還有一個射頻蒸發器，它提供了沈積薄層所需的原子流，還可以控制被沈積層的厚度。綜上所述，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S是一種最先進的擴散爐，為精密處理要求提供先進的信息和精度。其先進的特性和配件使其成為高度定制和密集處理場景的完美工具。憑借我們獲得專利的線性石英爐和廣泛的配件，這種設備一定能為小型和大型生產工作提供無與倫比的性能。
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