二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293738386 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種多用途的半自動批式擴散爐及配件，使用戶可以精確生成氮化物、氧硝化物和氮氧化物薄膜。它能夠以良好的均勻性和可重復性進行高質量的熱加工，非常適合大量生產設備和基板。TEL ALPHA-8S配備了超精確的溫度控制、自動化的過程監測和調節能力，以及穩定的垂直氣體分配設備。該爐采用30英寸的錨背石英管，便於裝卸晶片。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的最高溫度額定值為1,150 °C，並對可工作區域進行評分，以允許在下部、中部和上部定制溫度設置。實施了一個高效、自動化的過程控制系統，以實現精確處理。可以實時設置和調整溫度、壓力和反應時間,以便更好地控制預置過程。該爐采用新開發的由兩個線圈組成的「雙線圈」型氣體噴射單元供電。這些線圈可以獨立部署，用於增加氣流控制，提高氣體均勻性和整體過程控制。此外,Alpha 8S還具有靈活性,允許手動和全自動操作。手動過程控制提供了可編程的設置點,允許用戶輕松與環境交互,並根據產品需求快速調整和修改運行。為了支持最佳的氧化性能，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S標配了一個集成的氧化監測器，用於監測和顯示原位熱氧化活動。這臺原位監測機為用戶提供了有關該工藝氧化狀態的及時數據和信息，表明了所選工藝的效率。此外，集成過程控制工具提供了恒定的反饋，可用於優化晶圓對晶圓的過程均勻性。附件也可以用來進一步提升TEL ALPHA 8 S的性能。諸如過程中斷傳感器和柔性臂裝載機之類的選項提供了額外的控制和靈活性。這些特性可以確保在生產過程中達到最佳效果。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S是一個特殊的擴散爐和附件套件.TEL Alpha 8S具有自動化的過程控制、高溫評級和精確監控功能,能夠高效生產優質產品。通過利用其全面的配件選項，用戶可以定制和微調ALPHA-8S，以最好地滿足他們的具體需求。