二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293754614 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種高性能擴散爐及配件，旨在為半導體制造業提供高精度、高效和可靠的摻雜。它具有垂直載荷結構、獨特的節能OXGATE驅動設備和先進的溫度控制系統，以提高溫度均勻性。TEL ALPHA-8S爐由石英熔爐和兩層氣流控制單元組成，用於精確的化學輸送。它利用水冷蒸發器最大限度地降低蒸發速率，並且能夠在整個晶片表面實現極高的溫度均勻性。上層甲板設有槳式裝載站和可變角度/多位置快門組件，用於精確的快門控制。下甲板爐還配備了OXGATE聚焦線圈，以實現高精度摻雜。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S提供卓越的溫度均勻性,能夠在大型晶圓區域進行精確摻雜.此外,它還提供了高效運行拆分批次過程均勻性測試的能力,從而改進了各種狹縫寬度和晶圓尺寸的能力匹配。TEL ALPHA-8 S還提供卓越的測試效率。它旨在最大限度地減少停機時間並最大限度地提高可重復性,從而提高生產批次驗證的準確性並提高產量。加入專利脈沖運行機器可降低編程復雜性,縮短周期時間並提高總體生產率。此外,其先進的溫度控制工具利用嵌入式溫度傳感器來確保高效運行.總體而言，ALPHA-8 S為半導體行業提供了一種高度先進和可靠的摻雜解決方案。它能夠提供高精度的溫度控制和均勻性，以提高資產穩定性和收益率。Alpha 8S憑借其節能的OXGATE驅動器模型、可變角度/多位置百葉窗和脈沖運行設備提高了生產效率,能夠獲得卓越的質量效果。