二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293759912 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293759912
Furnace, 8"
Process: HTSIC WDRIV
CIM: SECS
Carrier and wafer transfer unit
ASYST / Pb90C SMIF
Layout type: U / box type
LL Hand
VMU-40-007 Heater
Torch heater
Gases: N2, O2, H2, Trans-LC
Wafer Type: SEMI STD-Notch
Cassette Type: Entergris / XT200-01E
(25) Cassette wafers
(16) Cassettes
Fork type / material: 1+4 / AI208
Fork variable pitch
TS4000Z System controller
PYRO CTL Torch controller
Signal tower colours: G/R/A
Pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
M121 Furnace temperature controller
Does not include Quartzware
Gas distribution:
Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Finish: Electro-polished
FUJIKIN manual and air-operated valve
MFC
Power:
Single phase, 120 VAC
3 Phase, 208 VAC
UPS Input voltage / output voltage: 120/100 V
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是為專業制造用途的半導體沈積工藝而設計的擴散爐及配件。TEL ALPHA-8S利用一個陶瓷室，它允許一個連續的過程，從進入到輸出的家具。該陶瓷室與一個排氣裝置配合工作，以改善氣體流動，從而有效地轉移和冷卻混合物。一個射頻石墨敏感劑保護包裝免受熱降解，以及限制基板和周圍環境之間的接觸。這種感應器也被設計成最大限度地降低爐子中存在的靜電水平。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S擴散爐具有多種工藝溫度，從100°C到1100°C不等。加熱板溫度高達1440°C，爐能適應各種工藝參數。該爐采用原位腔室進氣能力和自動甲烷硬件控制系統，旨在提供改進的過程控制，以最大程度地減少磁帶對磁帶的變化，從而優化沈積過程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S配備了堅固的安全特性，如壓力感應機構，以保護爐子免受潛在的問題。壓力感應自動增加或減少氣體供應，確保整個機組的大氣穩定。它還包括一個基於溫度的報警機，它可以連接到爐外的報警器，並針對任何潛在的問題觸發。Alpha 8S還配備了EMI shiedl發生器，以避免電磁幹擾。它特別適合於半導體加工，確保散熱一致性和高質量的產品。它比早期型號的改進包括雙診斷控制和外室氧化鋁絕緣等功能。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S是一種可靠高效的擴散爐，設計用於加強半導體沈積過程。其陶瓷室和RF石墨敏感器限制了供應商與周圍環境的接觸，而EMI Shield發電機和壓力感應機構則提供了額外的保護，使其安全易用。TEL ALPHA 8S是尋求穩定可靠流程的人的絕佳選擇。
還沒有評論