二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293764342 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐是一種用於化學氣相沈積過程的精確高溫退火裝置。這種高度精確的熱機械設備為先進技術提供了業界領先的熱均勻性、可重復性和工藝產量。TEL ALPHA-8S擴散爐利用一個專有的設計元素來創建一個精確和孤立的溫度剖面，允許精確的邊緣場控制溫度和熱均勻性。該爐提供從室溫到1500°C的精確溫度控制，使工藝工程師能夠為各種應用開發和優化工藝條件。該爐還利用石英襯裏和鋁互連實現精確的電力輸送，具有較低的溫度和較快的處理時間。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S擴散爐包括多種配件，包括補償器、冷卻頭和過溫加熱保護系統。補償器在爐膛內的基板和石英襯裏互連之間提供溫度流度補償。冷卻頭可確保在基板的外部邊界進行精確的溫度控制,而過溫加熱保護系統可保護互連不因過溫過程錯誤而損壞。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐還利用先進的軟件進行實時過程監測和分析。軟件控制的界面允許自動優化工藝參數，而圖形界面則為工程師提供爐子和配件的詳細規格信息。此計劃使維護人員能夠優化流程產量並降低成本。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐是先進技術生產的完美解決方案。該爐具有高度精確的熱機械設計元件和額外的配件，為所有工藝提供精確的溫度控制。該爐還提供過程工程師實時的過程監控,以及壓力、溫度和時間的自動優化。ALPHA-8 S型擴散爐具有業界領先的熱均勻性、可重復性和工藝產量,在短時間內保證了優異的性能,是先進技術生產的絕佳選擇。