二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293769731 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種最先進的擴散爐及其相關配件，設計用於半導體和電子工業的高精度應用。它具有出色的溫度分辨率和快速的恢復時間,能夠縮短周期時間和提高吞吐量。TEL ALPHA-8S配備了可拆卸的石英加熱塊，可與高溫晶片配合使用，消除了多重固定的需要。這種爐的高溫能力也使得像多晶矽和矽​​的材料能夠快速的熱處理。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的加熱塊是獨立控制的，並有內置的熱電冷卻器，允許精確控制溫度輪廓。采用石英襯裏的石墨敏感器提供均勻的加熱表面和較長的壽命，而可移動的石英屏蔽保護晶圓公眾免受熱輻射。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S還包括一個高溫計，允許溫度監測甚至超出加熱塊的溫度範圍。ALPHA-8 S是為整個爐膛的均勻性而設計的.三點溫度補償設備可確保整個腔室的溫度均勻性,最大變化幅度小於1°C。多槽轉盤消除了手動旋轉晶片的需要，而多片系統則可以方便地載入和移除多個晶片。此外，阿爾法8S還配備了真空疏散裝置，在整個過程中提供出色的溫度均勻性。腔室還配有氮氣凈化機，在加熱過程中密封晶片。這樣可以在低擴散損耗的情況下進行高效且可重現的晶圓處理。最後,TEL ALPHA-8 S包括全面的軟件支持,允許用戶創建配方參數以滿足其特定需求。該軟件使爐的編程和操作簡單易行，同時允許高級用戶對參數進行修補，以充分利用工具。總而言之，TEL Alpha 8S是用於半導體和電子工業精密應用的擴散爐的絕佳選擇。