二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293770344 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種高級擴散爐及配件包裝，用於各種半導體制造應用。爐子的主要部件包括垂直爐管、可調粉塔和兩套噴射器。爐管設計有一個OW抽空底部截面室，能夠運行晶片或芯片高達300毫米。可調粉塔內置驅動電機，可精確調節，使上覆氧化物層沈積。噴射器允許較厚的氧化物層以更均勻的方式沈積，具有精確的長寬比控制。TEL ALPHA-8S的另一個特點是它的集成加熱器，用於在氧化之前快速準確地加熱晶片或芯片。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S隨附的集成控制系統能夠精確的氣流優化，以及晶圓清潔、預熱和冷卻。控制系統提供24個溫度區域，每個區域都有自己專用的可編程PID控制器，以及實時數據可視化、實時警報監控和基於雲的數據庫。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S還包括各種用於底物制備的輔助工具，如低溫中子沈積、退火、光刻和非接觸粒子洗滌。此外，輔助工具還為高級計量技術提供了廣泛的支持，包括紅外掃描、光譜和光學成像。總之，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種用於半導體制造的高性能擴散爐，設計用於溫度、氣流、顆粒均勻性和基板清潔度的精確控制。它配有精密過程控制的綜合輔助工具，以及實時數據采集和晶圓清洗的集成控制系統。
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