二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293770421 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種先進的擴散爐，用於競爭性生產高端半導體器件，為器件制造商提供前所未有的動力。TEL ALPHA-8S具有8英寸晶圓容量,能夠操作多達11個獨特的擴散參數。爐子特別快；利用大功率加載系統，8秒內可處理多達2個晶圓。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S配備了先進的熱控制技術和安全特性。例如,爐子的「連續溫度控制」功能可根據需要連續監控和調整溫度水平,以最小的操作員輸入來確保完美的條件。此外，它的阻燃模塊保護晶片在被帶入加熱器之前免受空氣氧化和汙染。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S在3.2 kW運行，最高溫度為1,200 C。該爐裝有10通道溫度調節模塊，最多可同時設置11個擴散參數。這種靈活性使制造商能夠生產出更高效、更精確的設備。ALPHA 8 S還配備了多氣體輸送配置，允許為各種應用引入氣體。該爐與C-2氣體和氮氣都兼容。新的腔室設計采用了新采用的寬幅暖墻，可實現廣泛的擴散參數，並允許用戶在操作過程中獲得更高的晶圓能見度。ALPHA-8S標準配置了一個在線監控系統（OMS）,它有助於準確的操作和控制。OMS具有直觀的用戶界面、實時監控系統以及記錄驅動器歷史記錄和收集數據的能力。OMS是操作員跟蹤每個晶圓進度的完美工具。ALPHA-8 S擴散爐是為承受惡劣的工業環境而設計的，並附有終身保修，提供安心和全面的客戶滿意度。
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