二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775114 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是專門為金屬沈積在矽片上而設計的擴散爐和相關配件。TEL ALPHA-8S是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）爐，采用超高真空設備。它具有三條獨立的氣線，並提供獨立的溫度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S是現有的最可靠的MOCVD系統之一，常用於生產砷化氙、phospeides、antitimonide等III-V化合物半導體層。TEL ALPHA-8 S具有先進的超高真空（UHV）系統，真空範圍為10-11 Torr。在這種真空水平下，不存在氧氣汙染，產生質量更高的外延層，材料消耗大大減少。它還配備了先進的石英晶體微平衡（QCM），在分子水平上控制工藝氣體，防止工藝氣體的無意逸出。此外,TEL ALPHA 8 S能夠同時處理多達三個晶片,從而提高生產效率。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S擴散爐具有一套全面的安全特性。具有增強散熱和石英鎖定機構的鏡子加熱裝置等特點有助於防止礦渣形成，而蓋子安全操作在開門時自動停止過程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S還配備了防反射塗層（ARC）機，可防止鏡子和樣品之間的光學幹擾。在硬件和外部設備方面，TOKYO ELECTRON ALPHA-8S兼容了一些配件，如鹽酸或氮氣供應系統、機器人、氣流控制器和遠程操作系統。Alpha 8S還配備了一個快速、精確的石英溫度計來測量晶圓溫度，以及一個高度靈敏的紅外反射相機來監測晶圓表面的安全和控制操作，ALPHA-8 S采用了自由編程的警告系統和觸摸屏圖形用戶界面工具（GUI）。總之，ALPHA-8S是一種先進的擴散爐，具有廣泛的硬件和軟件功能，可用於各種制造過程。它擁有先進的超高壓設備，是優質外延層沈積的理想選擇，其安全特性保證了安全可靠的運行。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一個極好的選擇，用於III-V化合物半導體層，如砷化氙、磷化​​和安定層的制造。