二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775116 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐是晶圓基板熱處理的先進工具。它采用8區平行線性熱墻設計,可顯著提高工作效率,同時保持高度的均勻性和準確性。該爐的線性電磁熱墻設計允許更快的溫度斜坡,更高的效率,和更多的熱均勻性整個爐的工作室內。TEL ALPHA-8S隨附公司的高級控制器,使用戶能夠精確控制CVD和氮化物工藝等熱處理。控制器具有彩色觸摸屏操作功能,最多提供16個程序,每個程序64個步驟。這個復雜的單元還包括可選的流程監控、全自動校準和用於調度作業的實時時鐘。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S專為高性能、最佳過程控制和快速周轉時間而設計。低功耗和小占地面積使其非常適合空間受限或遠程環境。該爐的溫度範圍高達1150攝氏度,可容納200個晶圓。它還包括一個強大的排氣鼓風機,有助於保持整個爐膛的溫度均勻性。該爐還具有更快、更高效的坡道速率,從而提高了吞吐量和生產率。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S配備了一整套安全功能,能夠安全運行。爐子采用涼爽觸摸翻蓋,防止操作過程中散熱,可輕松地打開、關閉、鎖定。TEL ALPHA-8 S還具有一個熱監視器,用於監視腔室溫度並檢測預設範圍以外的任何溫度偏差。如果溫度超過預定限制,此顯示器將自動關閉計算機。最後,爐子配有一個緊急關閉開關(ESS),可以方便和安全地關閉機器。綜上所述,ALPHA-8S擴散爐是一種先進的熱處理工具.它采用8區平行直線熱墻設計,生產率高,均勻。控制器具有強大、用戶友好的界面和全面的自動化功能。低功耗和小占用空間適合任何空間和預算限制。Plus 8S爐還具有安全功能,如緊急關閉開關和溫度監視器,使其成為任何實驗室環境的安全選擇。
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