二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775117 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是為半導體器件制造而設計的擴散爐及其配件。TEL ALPHA-8S由TEL Limited(TOKYO ELECTRON)開發,為半導體行業提供優質的epi晶片提供了一個經濟高效可靠的解決方案。它的溫度範圍為800-1200℃,效率很高,能夠以每小時75個晶片的速度輸送epi晶片。這個擴散爐由幾個組分組成,這些組分共同創造了擴散的理想環境。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S以高溫電阻加熱器為主要熱源。這種加熱器將熱量直接輸送到被導流離開的基板上,從而最大限度地減少了對流產生的熱量損失。這款加熱器還與TEL/TOKYO ELECTRON Pulse Refresh設備配合使用,延長了爐壽命,提高了效率。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S帶有一個內部溫度控制系統,允許操作員隨時精確調整溫度設置。此外,它還配備了先進的安全裝置,在發生危險溫度水平或操作故障時自動關閉爐子。TEL ALPHA 8 S采用集成氣體輸送機設計,工藝氣體消耗量低。當需要過程氣體時,爐子自動開啟和關閉以優化流量,同時將整個過程氣體消耗控制在最低限度。還包括氣體洗滌器,以盡量減少雜質對基材的任何貢獻。此外,強大的冷卻工具能夠快速冷卻基板,從而防止熱損壞。總之,TEL Alpha 8S是一種優質的擴散爐及其附件。其具有先進功能的創新設計為運營商提供了生產高質量epi晶片的可靠高效解決方案。此外,ALPHA 8 S利用強大的安全資產來確保最佳工作條件和保護操作員免受潛在危害。它是半導體行業的絕佳選擇。
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