二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775119 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐是各向異性蝕刻和擴散過程的精密工具。TEL ALPHA-8S允許使用各種基板進行精確、可重復的蝕刻和擴散操作,同時最大限度地提高吞吐量和可制造性。這是設計和開發預算緊張、交貨時間短的理想選擇。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S是一種單晶片擴散蝕刻設備，最高工作溫度範圍為500 °C至1300 °C。它有一個可變壓力反應物輸送系統，可以精確制造中小型結構。它具有用於基板運動的單級皮帶傳動，允許快速的吞吐量，平滑的基板定位和可調節的皮帶加載速度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S配備了先進的溫度和壓力感測單元，提供對工藝條件的精確控制。這種先進的機器允許精確、可重復和時間優化的熱量和氣體流入爐子。它還具有先進的閉環控制，能夠精確控制反應條件，並提供一致和可重復的擴散/蝕刻結果。此外，TEL Alpha 8S有一個內置的超低顆粒物環境室，確保工作基板上的顆粒物汙染接近零。這保證了亞微米分辨率和高產率在不同的底物。計算機控制、用戶友好的圖形用戶界面為操作員提供了對擴散過程的高效、易於使用的控制。ALPHA-8 S還配備了許多支持選項，使其成為蝕刻和擴散過程的全方位工具。這包括基板旋轉、工藝/升降熄火、蝕刻-反沖、高壓CVD、摻雜劑活化、背面蝕刻、快速氧化和快速氮化。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S也能夠使用廣泛的蝕刻器和塗料，允許易於配置的蝕刻和擴散操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐是一種可靠且用途廣泛的蝕刻和擴散工藝工具。其先進的溫度和壓力傳感系統確保精確和一致的結果，而其單級皮帶驅動則允許高效的吞吐量。Alpha 8S結合其眾多支持選項,提供了一種功能強大的擴散和蝕刻工具,非常適合生產和研究。