二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293794213 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐是一種功能強大、經濟高效的熱處理解決方案,旨在滿足先進半導體器件制造的需要。這種單室立式爐在節省空間的設計中提高了生產能力，提高了產量。通過自動晶片傳輸、溫度、壓力和大氣的精確控制以及先進工藝控制系統的集成，實現了TEL ALPHA-8S的靈活性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S提供高精度的氣體聯合壓力控制，以六室自下而上的晶圓廠架構提升吞吐量，減少粒子汙染，這要歸功於其內部的清潔管。氣體聯合壓力控制在先進微電子的制造中很重要，使TEL Alpha 8S能夠在整個擴散過程中提供精確的溫度和壓力控制。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S包括一個功能強大的過程控制器，消除了對場外軟件控制的需求，並實現了過程的即時優化。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S還提供了先進的安全功能,其設計符合或超過所有安全標準。這包括超壓安全設備,包括自動關閉系統,該系統可在壓力或溫度超過預編程安全限制時啟動。該單元還包括一個緊急通風口，以確保在發生緊急情況時迅速安全地緩解壓力。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S具有多種配件，以提高性能和效率最大化。其中包括真空機、惰性氣體引入工具、惰性氣體排氣和回收資產、負載鎖真空支撐、貨艙以及監控系統。自動晶圓處理模型與TEL ALPHA-8 S兼容,從而改進了對批量大小、吞吐量和其他設備集成的控制。ALPHA-8S還有一個可選的熱冷卻階段，使得晶片的溫度能夠在熱處理的快速發展中迅速降低。ALPHA 8 S擴散爐具有先進的安全特性、精確的控制和強大的工藝控制系統，是高要求半導體器件制造行業的理想解決方案。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S性價比高，節省空間，提供增強的產能和提高的產量。