二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293794330 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S（TEL ALPHA-8S）是一種擴散爐和輔助設備，可用於晶圓的制造和組裝。其設計采用垂直向下直接驅動系統，實現了較低的熱失真和改進的控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S包含變頻驅動，用於精確的溫度控制，在改變爐設置時允許更高的精度和重復性。該爐還配備了標準的廢氣流量計，允許對氣體通量進行優化，以提高工藝一致性和均勻性。TEL Alpha 8S支持多種熱過程，包括擴散、氧化、氮化和低溫退火。為確保晶片加熱均勻，爐子上裝有機械化的crucible和階梯旋轉系統，以及頂部和底部的石英燈。Crucible rotation is do through a direct-drive motor, while the angle can be selected for both crucible and stage rotation.這兩個特性旨在提高爐內晶圓的均勻性。Alpha 8S還配備了多項安全功能，包括溫度、氨和廢氣關閉系統。該爐還設計用於防止過溫運行，具有溫度超過設定點後停止運行的溫度設置裝置。該爐還具有先進的自動凈化功能，可在加熱過程之間對系統進行凈化，以優化通量，提高工藝均勻性。除了其頂級擴散爐之外，ALPHA-8 S還包括許多配套配件，以滿足任何半導體制造設施的需求。它包括一個電磁泵，溫度測量探頭，晶圓溫度平衡支架。一些附加組件,例如粉末狀空氣過濾器,也可作為可選附件使用。ALPHA-8S是一種用途廣泛、可靠的擴散爐，可用於生產高質量、性能更高的半導體器件。其簡單而先進的功能和廣泛的支持附件使用戶能夠創建各種晶圓形狀、尺寸和熱輪廓。無論是應用要求高通量、均勻性，還是嚴格遵守特定工藝參數，TOKYO ELECTRON Alpha 8S都是晶圓制造組裝的理想選擇。