二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293802479 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種全模塊化、8室擴散爐及配件。它在均質熱加工領域提供精確、高質量的加工能力。它可滿足高通量應用,旨在通過卓越的操作和交付來節省時間。TEL ALPHA-8S旨在實現有效的熱工藝優化,具有靈活的操作功能,如多種基板尺寸、靈活的控制設置和廣泛的集成組件。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S擴散設備配備了先進的氣流系統。利用高質量熱交換氣體的精確氣流，實現了精確精確的溫度控制。通過精密氣流控制閥和高效氣體噴射器實現了高耐受氣流。噴射產生的精確熱梯度設計為降低邊緣效應，提高均勻性。TEL ALPHA 8 S擴散爐配備了高性能、低沖擊力的陶瓷基板，處理時間短，質量提高。耐用的陶瓷基板甚至可以承受最激進的工藝應用,從而提高了時間/屈服性能。此外，陶瓷還具有廣泛的耐溫材料，確保準確和均勻的加工結果。TEL Alpha 8S擴散設備配有集成電源和多種安全裝置，確保安全運行。集成電源具有預先設定的最大電源設置,以防止過熱損壞,而廣泛的安全功能包括自動過濾器監控和冷卻模塊監視器、溫度保護和超壓保護,這有助於確保完全防止損壞。TEL ALPHA-8 S擴散爐還配備了先進的軟件，允許對整個系統進行精確的控制和監控。該軟件可用於優化流程參數、配置設置和監視趨勢。此外，它還包括一個強大的數據采集和分析系統，能夠實時監測和分析過程參數。最後，TOKYO ELECTRON ALPHA-8S擴散設備配備了晶圓的傳輸和運輸技術，包括機器人轉移模塊、CF浴陶瓷模塊、晶圓處理技術。這使得有效的過程優化，並確保晶片可以安全和準確地處理。總之，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐及其附件為高通量熱處理提供了可靠、高效和經濟高效的解決方案。其創新的設計、準確性、質量和安全特性使其成為密集熱處理應用的理想選擇。