二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293811673 待售

TELTEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種用於半導體工業的擴散爐設備和附件。它旨在為激光植入、外延、濕氧化、熱加工、柵極氧化、離子植入等先進工藝提供所需的精度和均勻性。這款爐及附件包裝量身定制，以滿足特定工藝要求，確保精確的層厚和均勻性，並最大限度地減少系統停機時間。TEL ALPHA-8S由載入晶片的外室和發生擴散過程的內室組成。外室中央裝有一個自動晶圓盒式磁帶支架。位於支架每一角的升降機允許將晶片輕輕地轉移到內室進行處理。內室裝有多個可精確控制的擴散源。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S隨附的眾多配件中，有一款是熱壁源。這使得熱氧化物具有亞微米厚度和優良質量的均勻沈積。利用這一源，可以達到90%以上均勻性的擴散層。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S也有一個C-MOS門擴散源，可以提供對閘門尺寸和薄膜厚度的精確控制。除了這些擴散源外，TEL ALPHA 8 S還附有一個堅固的氣體單元，以確保有效輸送蝕刻和氧化氣體。本機預裝有專用管道和閥門，便於安裝。TEL Alpha 8S還包括一個高度精確的晶圓溫度控制工具。這樣可以在整個晶片表面均勻分布熱量。總之，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S是一種功能強大的擴散爐資產和附件，專為復雜的半導體工藝量身定制。它具有許多功能,可提供高級設備制造任務所需的精度和統一性。該套件采用特殊的氣體模型、晶片溫度控制設備和熱壁源，確保了可靠高效的擴散過程。