二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293814163 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S
ID: 293814163
晶圓大小: 8"
Furnaces, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種最先進的擴散爐,專為各種薄膜沈積應用而設計。它配備了一套經過精心設計的高級配件和組件,使其成為功能強大且用途廣泛的工具。TEL ALPHA-8S配有兩個不同的電子回旋共振(ECR)激發源,可以改善膜的均勻性和均勻沈積。其射頻電源能夠提供充足的電源,同時在運行過程中保持高精度和穩定性。磁鐵組件具有獨特的設計,能夠產生異常強大和連續的磁場。這些功能結合在一起,使用戶能夠在廣泛的頻率範圍內控制處理。該擴散爐還包括多種特點,以提高沈積工藝的質量。溫度傳感器允許用戶以高精度和高速度檢測基板的溫度。溫度控制器確保均勻均勻沈積的熱量均勻分布。氣體輸入的設計目的是創造所需基板所需的精確環境,以達到完美的效果。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S憑借其強大的自動配方管理系統也超越了大多數擴散爐。它允許在幾秒鐘內輕松編程和回憶特定的配方或定制的底物。內置活性氣體凈化系統有助於消除交叉汙染,降低可能導致底物損傷的不良反應風險。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S還配備了額外的安全功能,如泄漏檢查監視器,在運行中發生任何氣體泄漏時發出警報。此外,該爐的陶瓷加熱元件具有很高的耐溫性,因此可以長時間工作而無需更換。ALPHA 8S是任何尋找可靠擴散爐及配件的生產或研究環境的完美解決方案。其全面的特性允許精確、高效和安全的薄膜沈積。
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