二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293814781 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是為優化蝕刻、幹燥和熱輔助沈積工藝效率而設計的高端擴散爐及附件套件。它具有雙面加熱結構，可以實現均勻加熱，提高精度。而且，集成的液氮冰箱有助於最小化晶片加載和卸載時間，允許不間斷的操作。這種最先進的裝置適用於廣泛的應用，如半導體晶圓制造、納米制造和太陽能電池生產等。TEL ALPHA-8S包括各種旨在增強生產過程的功能。它配備了確保均勻蝕刻的脈沖板式淋浴板，以及可以電子配置以適應工藝參數的6軸級驅動設備。還有一個垂直調節的冷卻板，為用戶提供更大的靈活性。此外，它還配備了一系列氣體控制組件，如氣體噴射器、電離器和氣體流量計，便於精確調整過程。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的腔室配備了先進的隔熱和冷卻機制，如石墨基密封結構、液氮絕緣、高性能絕緣板等。該系統還具有固態投射離子源（PAD-type），可實現精確的離子束轟擊控制，以及內置的清潔裝置，可消除蝕刻室內不需要的顆粒和雜質。也許TOKYO ELECTRON ALPHA-8S最令人印象深刻的特點是它的人機接口（HMI）。這種先進、直觀、用戶友好的圖形界面可以方便地操作機器的參數，允許用戶快速調整過程，以達到所需的效果。這款HMI還配備了「智能工藝」技術，讓用戶重新創建自己最好的蝕刻參數，保存以後使用。總體而言，ALPHA-8 S是尋求可靠和用戶友好的蝕刻、幹燥和熱輔助沈積過程解決方案的人的理想選擇。其強大的設計、先進的功能和全面的HMI使其成為新手和經驗豐富的蝕刻技術人員的一個吸引人的選擇。