二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816021 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S是一種先進的機器人擴散爐及輔助系統，用於半導體組裝過程。它用於在集成電路制造的基材制備階段，在晶片上產生砷、磷、硼、移相摻雜劑的薄層。爐子配有獨特的循環系統，允許它在任何給定時間最多容納四個不同摻雜的晶片，並通過擴散過程的漿液或蒸氣相循環這些晶片。這樣可以提高吞吐量和提高周期時間,同時保持最高質量標準。TEL ALPHA-8S還具有自動輸送機裝卸系統。這使得晶片能夠快速高效地帶入腔室，經歷了一系列步驟，如存放在籃子裏烘烤，裝載到預定義的托盤上，擴散處理，從托盤上卸下，然後帶出腔室。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S包括一個能夠靈活加熱和冷卻循環的真空容器。其安全系統包括用於檢測循環中任何故障或故障的三區排氣監測器，形成劣質層時自動關閉，以及在腔室外檢測到任何運動時關閉擴散過程的運動傳感器。TEL ALPHA-8 S是一種強大可靠的擴散爐及附件系統.它能夠容納多個晶片，保持周期時間低，並為擴散過程提供安全的環境，使其成為任何生產線的絕佳工具。它還具有批量處理等各種可選功能以及處理超薄層的能力,因此具有高度可定制性。通過對擴散過程的精確控制，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S確保生產線接近最大容量而不會影響質量。