二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816022 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是用於制造半導體器件的擴散爐及其相關配件。它旨在滿足現代半導體制造商在高吞吐量和精確度方面的嚴格要求。擴散爐配備了高效的熱循環設備，確保了熱循環的均勻性和可重復性。此外，該爐還配備了先進的預熱、冷卻和操作控制，確保了優越的工藝控制。該爐采用堅固的不銹鋼框架和圓柱體建造，以確保它能夠承受高溫並產生均勻的結果。該擴散爐具有高達1200攝氏度的溫度範圍和控制熱循環參數的四維控制系統。它還具有直徑25厘米、最大高度300厘米的爐膛尺寸，以提高吞吐量。擴散爐配有多個配件，以增強工藝。它配備了數字正常化單元（DNS），能夠精確校正輪廓偏差，以改進過程控制。此外，它還配備了電阻歸一化機（RNS），有助於半導體器件中電阻率的歸一化。同時還配備了集點跟蹤（Set Point Tracking, SPT）工具，提高了電源的可控性和準確性。TEL ALPHA-8S還配備了雙晶體監視器（DCM），用於監測晶圓的溫度以及晶體在爐中的位置。該爐還配備了數據輸出接口（DOI），用於監測晶圓溫度、壓力和位置等參數。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S擴散爐及其配件是一種高度可靠、高效的資產，非常適合半導體器件的制造，能夠精確處理復雜的熱循環參數。其增強的控制系統提供了出色的過程控制和可重復性，熟練地處理高度精確的熱循環。它是尋找卓越性能的半導體器件制造商的理想選擇。