二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816024 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐是為可持續半導體應用而設計的強大可靠的設備。TEL ALPHA-8S為更快、更可靠的擴散提供了卓越的工藝,具有卓越的加熱器均勻性、精確的溫度均勻性和經濟高效的300 mm基板性能。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S利用高效強大的氣體輸送系統，配有三對一氣體歧管和集成氣體探測器。這允許對單個氣體進行精確控制，以實現精確的均勻性和實現最佳的擴散剖面。TEL ALPHA-8 S提供了一個隔離的區域，用於統一的溫度控制，並且可以在整個過程中相對較快的溫度。為了確保安全高效的操作,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S采用了最新的安全技術,具有防止過壓情況、緊急關閉閥和自動關閉流量控制的過壓保護功能。為確保統一的溫度控制，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S配備了八個獨立控制和熱耦合的載荷鎖。通過對多個負載鎖進行精確的溫度控制，可以實現優化的晶圓溫度水平控制，提高生產率和晶圓冷卻時間。ALPHA-8 S還包括一個高級配方和過程控制接口。這個直觀的控制單元允許用戶創建、審閱、監視和調整配方和處理步驟,只需單擊鼠標幾下。面向批處理的軟件允許用戶根據需要即時調整產品或配方,從而為流程增加了更大的靈活性。除了這些特性，TOKYO ELECTRON ALPHA-8S還提供了廣泛的特殊配件。這包括波紋抑制器、催化泵、腔室、工藝氣體、氣體分析儀和加熱器，以及各種最大150毫米晶片的持有者。所有這些配件都是為了給用戶一個他們可以依賴的完整而有效的包裝而設計的。總體而言，ALPHA 8S是一種先進的擴散爐機器，具有卓越的工藝和技術，設計用於可靠和可靠的半導體應用。利用高效先進的控制工具，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S提供精確的溫度控制和更快的擴散，具有優異的加熱器均勻性和基板兼容性。