二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293822718 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種先進的擴散爐，配有多種旨在提高效率和生產率的配件。利用最新的高溫氧化（HTO）技術，TEL ALPHA-8S能夠同時快速熱處理多個樣品。其堅固的構造和專門的部件允許對廣泛的工藝溫度範圍進行精確的控制，使其適用於擴散、氧化、氮化等多種應用。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S獨特的工藝設計確保了均勻的加熱，以下特性確保了增強的性能。使用大氣氣體解鎖機構可達到高達5 x 10-1 Torr的真空。它具有高度精確的雙溫雙壓輸出控制設備，能夠實現均勻的熱處理。低粒子環境是通過有效的濾波器交換系統和腔室疏散單元相結合實現的。此外，它的簽名設計消除了環境空氣在擴散過程中的影響，從而產生了高效的處理時間和改進的結果。TEL Alpha 8S還包括增強的附件,以最大限度地提高用戶體驗。自動氣體直通機允許快速可靠地進入多種氣體，而無需每次打開腔室門，自動反饋信號工具迅速通知你任何過程不規範，允許立即糾正。耐腐蝕的碳化矽叠加機構可防止磨損，確保頂部性能。前端晶圓傳輸附件便於訪問和擴展使用。總體而言,ALPHA 8 S擴散爐及其附件提供了高度精確和均勻的熱處理控制.TOKYO ELECTRON的用戶友好型設計、堅固的結構、先進的自動化功能和增強的配件,使TOKYO ELECTRON ALPHA-8S獲得卓越成果的頂級選擇。