二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293830189 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是TEL提供的高科技擴散爐。這種擴散爐是半導體制造的理想選擇，允許一次創建多個器件。它是為8英寸晶圓制作的，旨在實現高通量和溫度均勻性的高產加工。TEL ALPHA-8S具有自動混合晶片處理設備，可以方便地在工藝室之間交換晶片。混合晶圓處理系統包含自己的機器人，進行低湍流的過程旋轉。它還具有一個加熱和獨立的後交換室，它允許在保持晶圓溫度的同時在腔室之間快速交換。該爐是為溫度的極高精度和穩定性而設計的.它具有超高溫均勻性,混合後交換室的準確率為+/-5度C。高功率加熱單元效率高，調諧系數為0.4%或更低，整個寬幅區域的溫度均勻度為+/-2攝氏度，使爐子可以達到高達1000攝氏度的溫度。它有一個氣體反粒子計數器，作為一個初步的粒子計數器，提供早期檢測和防止顆粒汙染。該爐還有一個被動空氣管理工具，它以非常低的排氣率將顆粒數保持在最低限度。ALPHA-8S具有許多高級功能,例如與企業服務器資產和TOKYO ELECTRON設備管理軟件集成的能力、全自動警報監控和遠程支持功能。這使它在效率方面比競爭對手更具優勢。它還具有高速、低湍流氣體輸送模式，允許精確控制和快速氣體流動和響應。TEL Alpha 8S是一種多功能爐,非常適合尋求先進技術以創造高產量、高通量半導體生產的客戶。
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