二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9054816 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種用於制造半導體器件的擴散爐及附件封裝。它是一種多用途設備，既可用於批量處理，也可用於設備級處理。TEL ALPHA-8S是一種垂直式擴散爐，能夠達到最高工藝溫度，最高可達1,250 °C。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的特色是單室爐可以通過安裝專用盒式磁帶垂直擴展。必要時還可以將盒式磁帶完全從腔室中取出。這種靈活性允許對腔室應用不同的工藝參數,而無需修改盒式磁帶。Cassette還設計用於在處理階段容納Wafer Cassettes。ALPHA 8 S使用輻射加熱器控制技術,以確保室內溫度均勻.這一特性保證了在沈積和蝕刻過程中電氣結構和薄膜結構的良好均勻性。這些高溫過程結果也得到了剪切力分析和熱力計分析等先進分析技術的支持。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S還具有全自動氣流控制系統。該裝置設計用於調節爐膛氣體溫度，提供優越的氣流控制。自動氣流控制功能還可最大限度地減少環境空氣對工藝故障的汙染。除了這些特性外，TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S還附有大量配件，方便機器高效運行。這包括過程氣體供應，自動載波和卡帶卸載工具，載波烘烤系統和計算機控制資產。計算機控制模型允許實時過程監控，允許操作員根據需要進行調整。Alpha 8S擴散爐及附件封裝是一種高質量的設備，旨在可靠地、高效地生產高質量的半導體器件。結合先進的石楠、氣體和計算機控制功能，TEL Alpha 8S是任何晶圓制造工藝的理想選擇。