二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9216298 待售
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已售出
ID: 9216298
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Vertical furnace, 8"
Process: LPCVD Nitride
Main system:
Main body
Utility box
Includes:
System layout type: U / Box Type (L)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: WMM-40-101 Mid temperature
Torch heater
SMIF: TEL Integrated SMIF
Process gases:
N2 (20SLM)
N2 (5SLM)
N2 (1SLM)
NH3 (2SLM)
DCS (200SCCM)
O2 (2SLM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air-operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling:
Wafer type: 8" SEMI STD-Notch
Cassette type: Entergris / XT200-01E
Cassette number of wafers: 25
(16) Cassettes storage
Fork type / Material: 1+4
Fork variable pitch: Variable
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation installed
System controls:
System controller: TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host communications: User host computer
User host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Power:
Voltage 3 Phase: 208 VAC
Voltage 1 Phase: 120 VAC
UPS Input voltage / Output voltage: 230 V / 230 V
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種工業級擴散爐及配件包裝，非常適合半導體和其他器件制造。TEL ALPHA-8S基於石英盒線性傳輸系統（QCLT）平臺,這是一項突破性技術,在半導體制造中提供無與倫比的控制、精度和重復性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S具有先進的8級工藝室，提供高性能退火、驅動和其他擴散過程。利用各級可編程溫度控制，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S可以快速加熱和冷卻材料，形成工藝參數緊密、器件特性均勻的完美一致的微結構。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S還具有可調熱源和小占地面積功能,可在潛在的工藝配置中實現完全的靈活性。該套件包括最大輻射均勻性的集成反射器系統，允許對溫度過程進行高精度控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S還包括幾個屏蔽和真空系統，以確保安全和不間斷的擴散過程。該套件包括一個隔膜閥和一個氣體選擇櫃，可以讓你在這個過程中在不同的氣體之間快速、平穩地切換。TEL Alpha 8S還配備了自動泄漏檢查系統，用於監控腔室的完整性並快速識別任何氣體泄漏。在安全性方面，TEL ALPHA 8 S具有多種傳感器和監視器，用於檢測潛在的過程危害。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S包含紅外和常規高溫計,用於精確的溫度測量,以進一步確保準確、安全和可重現的擴散過程。除了出色的自動擴散功能外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S還配有一整套附件,可幫助您充分利用該包。該套件包括氣動加載系統、熱電偶電路、傳感和控制系統，以及幾個可選的額外傳感器、監視器等等。總而言之，ALPHA-8 S擴散爐和附件包裝是精確一致擴散過程的完美解決方案。可靠、安全,並且有完整的控件和配件選擇,此套件將確保您的下一個擴散過程成功。
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