二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9227415 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是為絕緣體矽（SOI）和藍寶石矽（SOS）技術量身定制的擴散爐及配件。它采用了工藝工程、控制系統和最高安全標準方面的最新創新技術,為半導體制造行業的晶圓加工提供了出色的工藝靈活性。TEL ALPHA-8S具有等離子體蝕刻設備、氧化系統、排氣裝置、溫度儀表顯示和負載端口。靜電卡盤（ESC）有助於保持晶圓溫度和控制對SOI和SOS技術至關重要的溫度敏感的氧化物蝕刻過程。ESC的硬件位於背面，真空珠位於背面。它有一個高溫爐，可以加工到1050°C，並包含在一個先進的排氣機中，帶有加熱室反壓工具，以達到高水平的安全性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S還具有一個帶有圖形用戶界面（GUI）的控制器和一個遠程監控資產，允許用戶從遠程位置監控他們的進程。這種遠程監控模型利用Web服務器和瀏覽器界面，使操作員能夠輕松調整配方。它還記錄溫度和壓力測量、化學濃度和排氣流量，以便進行檢查和分析。一個可選的霧化設備可以集成到TEL Alpha 8S中，以創建精細的漂浮粒子群，並提供粒子在晶圓上的均勻分布。該系統還可用於修改矽、二氧化矽等薄膜材料的沈積速率和圖樣。除了其強大的功能集外，ALPHA 8 S遵守最高的行業安全標準，確保清潔和安全的工作環境，減少危險化學品的風險，並以控制和監測的方式使用危險化學品和材料。憑借先進的工藝工程和監控能力，TOKYO ELECTRON ALPHA-8S是現代半導體行業SOI和SOS處理的完美工具。