二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257610 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐及其附件被用於半導體制造廠，用於產生熱和電型材，以允許摻雜劑擴散到正在加工的晶片中。TEL ALPHA-8S的特點是將石英管外容器封裝在溫度控制的烤箱中，采用雙紅外燈加熱器均勻點燃晶片，並采用垂直提升機構方便晶片的拆卸和裝載。此外，擴散爐還包含各種傳感器和控制裝置，以提供對過程熱參數的精確控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的內部容器由高純度石英製成，以抵抗熱沖擊，處理擴散爐在加工時達到的高溫。對這種石英材料進行清洗和定期檢查是否有任何汙染或結構破裂的跡象。雙紅外燈精確對準並調整，以所需的精確位置和角度定向熱輻射，有助於晶圓的均勻熱加熱。ALPHA-8 S內置的各種溫度傳感器進一步幫助控制熱參數。這些傳感器始終跟蹤晶片的精確溫度,從而對過程進行嚴格控制。垂直提升機構還進一步加強了對過程的控制，允許精確和高效的晶圓裝卸。配有TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐的配件包括一個熔爐、石英芯片和一個MC開關盒。Crucible heater is designed to heat the crucible that is used to contains the dopant gases during processing.石英晶片通過輔助傳熱和隔熱墻壁來維持整個腔室的均勻溫度。MC開關盒用於對擴散所需的熱和電過程提供精確的速度控制。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S擴散爐及其附件為摻雜劑擴散到晶圓中提供了一個高度可靠和準確的系統。耐溫石英組件和輔助傳感器可以對過程進行嚴格控制，雙紅外燈和垂直升力機構的精確對準也是如此。系統提供的附件提供了進一步的控制水平和效率，有助於優化擴散過程。