二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257734 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種計算機控制的擴散爐及附件，用於從單晶矽片創建集成電路。TEL ALPHA-8S旨在確保整個處理平面的高吞吐量處理和均勻性,允許以最少的手動幹預來制造復雜的結構。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S裝有垂直的3部分裝載管，由石英套筒、陶瓷套筒和金屬外殼組成。垂直載荷配置被設計成使整個載荷晶片與爐心的高溫帶對齊。這樣可以確保整個裝載區均勻的高溫，並控制熱空氣的垂直對流，這有助於防止氧化和氧化損壞晶片。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S有三個加熱區（HZ）：預熱區（PHZ）、載荷區（LZ）和工藝區（PZ）。PHZ範圍為100 °C-200 °C,用於在進入LZ之前將晶片加熱到所需溫度。LZ分為頂部區域（TR）和底部區域（BR）兩個區域。這兩個區域都配備了獨立的氣體和溫度控制系統，可以精確控制氣體流動和溫度。將LZ加熱至800°C-1300 °C的溫度,整個裝載平面的溫度均勻度為+/-5°C。PZ可以達到1500°C-1800 °C的溫度，同時在整個工藝平面上保持+/-5°C的均勻度。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S還提供了一套全面的附件，如氣體控制臺、晶圓升降機、石英和陶瓷管組件、特殊的crucibles，以及增強功能的門鎖。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S可以定制，以滿足用戶的特殊需求。說明中手動、通過PC或通過面板顯示屏提供了選項。Alpha 8S以用於Windows 95/98/NT的TEL Advantage軟件的形式提供卓越的過程控制。這一功能強大的軟件旨在通過簡化爐的運行、協助設置過程以及提供數據記錄能力來簡化過程控制。該軟件還提供數據分析和收集用於統計分析的預定義數據集。TEL ALPHA 8 S是性能、技術和便利性的卓越組合，允許高通量和統一集成電路的制造。它是一種可靠、易於使用的系統，適用於最大尺寸30厘米的單片加工。