二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282234 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種先進的擴散爐和附件，旨在為研究人員提供高精度擴散過程的經濟高效解決方案。適用於SOI （Silicon-on-Insulates）基板的超精細控制工藝，多年來一直是許多實驗室的可靠工具。TEL ALPHA-8S具有自動滑動隔熱氣瓶，提高了工藝穩定性，降低了溫度控制的不確定性。氮銨氣體系統可以在一系列爐子上產生高達2個大氣壓的氣體壓力。這是有益的，因為在使用精細基板時需要增加大氣穩定性。它配備了16個可手動調節的加熱器（僅KS-16型號）,可提供對整個加工室區域的精確溫度控制以及其他高級功能。為了給用戶提供最大的靈活性，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S系統完全可編程兩個專有程序。這些程序允許根據溫度、坡道速率、化學元素濃度和大氣等多種參數設置高度詳細和準確的過程。此外，該爐的開放式設計允許定制浴池的創建和錫和黃金時間的快速回流。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S還提供高級診斷和過程參數的連續監控。這樣可以確保故障檢測和保護、強大的統計數據收集以及在發生任何設備故障時自動進行溫度分區。這些特性在控制和驗證精確擴散和CVD（化學氣相沈積）過程中特別有用。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S設計為節能，使用G-N2的電氣系統來降低耗電量，同時最大限度地提高產量。皮帶式運輸系統為自清潔提供了最佳環境，以減少基板汙染的風險。此外,自動過濾器和磁盤系統可輕松管理300 x 500 mm至600 × 1200 mm的各種腔室,從而在廣泛的處理領域提供有效和可靠的操作。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S由於其圓滑的設計、符合人體工程學的界面和持久的穩定性,是需要經濟高效的可靠和精確擴散過程解決方案的研究人員的絕佳選擇。是打造SOI晶片等優質產品以及多種其他先進材料的完美工具。