二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282766 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐是一種最先進的半導體制造裝置，具有最佳擴散過程所需的所有特性。一個擴散過程用於對半導體材料如硼和磷進行改變，使它們能夠用於廣泛的電氣元件。TEL ALPHA-8S擴散爐具有高真空擴散室、精密基板支撐臺、石英屏蔽熱墻、高效噴氣設備、高溫輻射加熱系統、均勻控制單元等多種特點。擴散室的設計旨在提供最佳的熱均勻性和效率，同時確保擴散過程中的最大安全性。腔室內部由石英浮動玻璃保護，確保了均勻加熱，並增強了抵禦溫度變化的安全性。一個集成的氣體噴射機允許精確的氣體擴散，使擴散過程的精確調整。基板支撐級提供了一個穩定的高真空平臺，基板可以在該平臺上裝載。這確保穩定和可重復晶片定位，即使在長擴散運行。石英屏蔽的熱墻提供了一個可控的低溫環境，用於保持晶片在恒定溫度下。它可靠高效，也保證了基板的溫度永遠不會高於子系統溫度。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S擴散爐也得益於高溫輻射加熱工具。這項資產使用了許多反射器來提供基板的均勻加熱。該模型還有助於降低基材間交叉汙染的風險。最後，ALPHA 8 S擴散爐還配備了均勻性控制設備，這有助於確保每一種基材都接受相同的處理，從而得到更好、一致的結果。總體而言，TEL Alpha 8S擴散爐是一種可靠、高效的半導體制造工具。由於其精密的設計、高端的特點和均勻性的控制系統,它以最小的交叉汙染和不均勻加熱風險提供了精確準確的結果。
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