二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282768 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種先進的擴散爐，配有附件。它被設計為適合各種應用，如矽片清洗、氧化、硼註入、氮化物沈積，以及更局部的操作，如快速熱處理（RTP）、快速熱退火（RTA）和激光退火。TEL ALPHA-8S具有合金、反應、退火和沈積工藝的高質量元件和先進技術。它具有高達650°C/s的快速加熱速率和1350°C的最高溫度，使高溫合金和反應過程成為可能。先進的技術包括RTP 3D、多級工藝控制、制造中的熱循環測量等,可提供精確、可重復性和精確的工藝溫度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S憑借其先進的特性，提供了高可靠性和縮短的循環時間。擴散爐采用多孔陶瓷加熱機制，使溫度在2°C ±內均勻；通過降低不均勻的溫度分布，擴散爐可以以相同的可靠性服務於多個同時過程。所有附件都采用了同樣可靠的加熱機制，而過程窗口的集成視圖允許實時對過程完成情況進行清晰的評估。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S配有離子源進行沈積，其可選RTP 3D實現超精確的局部熱處理。擴散爐上的多區控制單元實現了循環同步執行，進一步縮短了循環時間8%。擴散爐的內置診斷特性確保任何與操作相關的故障都容易識別和快速糾正，從而提高擴散爐的正常運行時間。ALPHA-8S是尋求可靠、高效、精確擴散爐的專業人士的理想選擇。其先進的特點，如快速加熱速率、均勻溫度分布、RTP 3D、多區域控制和內置診斷，保證了高生產率。通過投資ALPHA 8 S,您將受益於改進的性能和提高的盈利能力。
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