二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9383405 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S（TEL ALPHA-8S）是為先進臨界級半導體器件生產而設計的擴散爐及配件。這個擴散爐具有一次處理多個晶片的能力，使得生產中的吞吐量增加。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S在5x10-7 Torr的低基壓下，能在180-1400ᵒ C的溫度範圍內進行出色的工藝控制，工藝時間短，5-90秒不等，晶圓溫度均勻性高，精度為+/-1 µm/sec。這種擴散爐的魯棒特性和優點是將空氣軸承、磁力、高精度和改進處理相結合的高效能量傳遞特性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S提供了一個超高的耐鎳加熱系統，使其在溫度控制方面更加可靠和高效。由於該系統的熱阻遠低於常規電阻加熱，晶圓的實際溫度相對較高。這提供了更高的吞吐量、更短的處理時間和更高的一致性控制。該爐還具有許多自動化和手動的安全和維護功能，例如帶有氧氣流動監控器的自動化環境控制，以防止基質氧化。該加工站實施了ESD保護，最大限度地減少了電子損壞，並優化了凈化和排氣控制，以實現最佳的氣體流量和最大的清潔。優化的保護機制保護TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S免受真空泄漏、超壓和晶片負載過大造成的任何潛在損害。總體而言，TEL ALPHA 8 S擴散爐對於那些希望在臨界水平半導體器件生產中獲得更高生產率的人來說是一個極好的選擇。TOKYO ELECTRON Alpha 8S具有低基壓、精確的溫度控制以及優化的安全和維護功能,為優化產量提供了卓越的性能。