二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9062879 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC是一種雙殼擴散爐及配件，用於半導體制造業的設備。它旨在為不同材料沈積在晶片上提供最佳環境。這種擴散爐為用戶提供了廣泛的功能，從高溫氧化到低溫硼植入。TEL ALPHA 8 SC具有一個大的石英敏感器腔，為更高效的加工提供了出色的均勻性和導熱性。它的大功率線性電子回旋加速器頻率加熱系統可以達到高達1500 °C的溫度。這臺機組配備了兩臺低排放的高溫計，在運行過程中實時監測感受器水平的溫度。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C還提供了一個自動批處理系統,該系統包含多達64個流程,可確保整個流程控制和數據收集。靜電卡盤也可與這臺機器安全地保持晶片到位的過程中，用可調節的反射鏡直接進入等離子體。該8SC采用高速、高功率的Gas Exchange技術,可提供類似電網的退火剖面和過程穩定性以及更快的生產速度。為了提高效率，先進的風扇分離系統使耗盡的氣體和顆粒遠離工作區域。超壓系統還可以保護晶片在操作過程中免受表面汙染。TEL Alpha 8SC旨在提供高度自動化的高性能操作。它使用SafetyPlus軟件,該軟件可實現更快、更平穩的啟動,以及更輕松、更快速的調試和升級過程,從而實現更可靠的操作。該8SC還附帶了HyperDrive,這是一個可選的遠程控制應用程序,適用於希望遠程監視和控制進程的用戶。綜上所述，Alpha 8SC是一種精密的擴散爐及附件溶液，旨在高效、精確地為晶圓加工提供絕佳的適用性。它是現代半導體制造的前沿解決方案，肯定是許多制造設施的寶貴補充。