二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9206232 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC是專門為半導體生產而設計的擴散爐及配件套裝。7室設備裝有兩個盒式裝載機，每小時最多可處理5000個晶圓。它還配備了先進的背靠背加熱系統，以實現更快、更一致的加熱。TEL ALPHA 8 SC利用稱為TEL高速退火（HSA）的專利退火裝置來實現最高質量的熱預算和最小的熱損失。HSA利用內蓋機快速準確地引入和清除氣體.它還使用「浮壓溫度工具」防止過熱或過冷。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C的設計考慮到了易用性。用戶友好的觸摸屏界面使控制腔室功能變得容易。此外，直觀的軟件確保了所有腔室功能的操作方便。ALPHA 8 SC包括TOKYO ELECTRON Pyro-Direct熱處理（PDTP）硬件,可提供強大、精確的溫度測量和控制,以確保最高熱預算。此外，創新的氣相沈積資產的設計在整個過程中提供統一的薄膜最大的產品質量。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC配有集成工藝分析儀，可實時測量基板，提高工藝速率和產量。此外,通過使用外部TEL/TOKYO ELECTRON Global Real-Time Analyzer （GRTA）,用戶可以測量和調整溫度及其他工藝參數以優化性能。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC還包括TEL Smart Model，它具有一套先進的故障檢測和校正功能，在過程中監測晶圓溫度、壓力和工藝氣體水平。它還支持高級控制技術,如預測建模和在線調整,以優化流程性能。TEL ALPHA 8S-C專為流程通用性而設計。它廣泛的兼容性使得它能夠處理各種各樣的基材和工藝流程。它還采用簡單的冷卻設備進行設計,以使從一個工藝過渡到另一個工藝的速度更平穩、更快。總體而言，Alpha 8SC是一款高度先進、可靠、節能的擴散爐及配件套裝，為半導體生產提供卓越的性能、易於操作和工藝多功能性。