二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9313419 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC是一種先進的模型擴散爐，設計用於執行各種各樣的加熱、退火和沈積過程。它具有最先進的設計,可確保幾乎可用於任何類型的過程。構成爐子的各種部件包括一個內部鐘形石英管、一個加熱器和一個外部圓柱體，從而實現了高度精確的溫度控制和均勻的加熱。爐子配有兩級石英排氣設備，以及大型矩形排氣口，最大排氣效率。爐子內內置了多種先進的傳感系統，如用於溫度監測的雙熱電偶、用於測量石英管內壓力的壓力監測儀，以及用於實時監測溫度和壓力等爐子狀況的多種遙感傳感器。TEL ALPHA 8 SC配備了多種配件，使各種流程得以執行。其中包括可實現熱墻和冷墻工藝的電動晶片和蓋子定位器,以及一系列樣品持有者、生產環和防護罩,以適應不同的樣品尺寸。鎖定鎖存器系統允許在處理過程中將各種尺寸的晶片固定到位。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C還具有一個集成的沈積單元，它允許薄膜層在晶圓上的精確沈積。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC還配備了先進的安全功能，包括氮氣凈化機和防止外界空氣汙染和其他汙染物的不銹鋼反應室。爐蓋采用雙密封，防止任何煙霧和顆粒泄漏進入工作空間。此外，管半徑小於25厘米的開放式石英管確保爐子能夠將大氣保持在接近大氣壓的位置。還包括一個自動門，防止在爐子冷卻之前打開，提供額外的安全。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC是一種先進的擴散爐，結合了最先進的設計和先進的特點，以確保最高溫度控制、均勻加熱和防止汙染。其廣泛的附件允許執行一系列的過程，集成沈積工具使薄膜沈積能夠精確。先進的安全特性保證了爐子的運行始終以安全的方式進行。