二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9383796 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC是一種擴散爐及附件，設計用於大型半導體制造工藝。該設備允許精確控制晶圓溫度、電源水平和自身操作參數。作為制造高性能集成電路的先進工具，它可以進行多種過程，包括多層擴散、退火和氧化，以及選擇性發射器、CMP、低溫退火和Cu再分布層。TEL ALPHA 8 SC具有用戶友好的觸摸屏界面和可定制的操作環境。該系統還包括幾個安全特性，如雙壁外室，在發生氫氣泄漏時自動關閉渦輪和熔爐。該爐還配備了一個自我診斷單元，能夠進行預防性維護操作，並有助於防止耗時和昂貴的維修。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C具有獨特的雙區供熱機，能夠高效處理精細晶片並優化其面積利用。區域控制由稱為分割區域操作的強大編程算法管理。此技術可確保晶圓溫度保持在特定過程的最佳水平,同時將功耗降至最低。ALPHA 8S-C提供了廣泛的附件,包括淋浴頭、升降機構、區域控制系統、過渡支架、負載鎖、滾筒升降機、機器人、端部效應器、傳感器、泵和許多其他組件。此外，該工具還與各種基材兼容，包括矽、砷化氙、銅、鈦、石英等。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC的性能由先進引擎保證，如Total Exhaust Management、Exhaust Profile Control、Shared Zone Control等。這些特性為晶圓生產過程提供了無與倫比的修剪控制和溫度穩定性。TEL Alpha 8SC提供可靠的操作、卓越的性能和精確的控制，使其成為大容量半導體加工的理想選擇。其先進的特性、配件和用戶友好的界面使其成為半導體制造不可或缺的工具。