二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293741420 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SD是一種具有附件的最先進的擴散爐。它是半導體工業中用於多種工藝的一種爐，主要提供退火和擴散。該8SD有一個加熱過程環境室，可提供高達1250°C的高溫，還有一個冷卻過程環境室，可提供高達200°C的快速熱冷卻速率。配備先進的活性離子植入裝置和先進的活性氣體退火設備。該8SD還有一個內置的頻率響應監測（FRM）系統，其中包括一個熱區溫度監測和警報單元，以便能夠控制室內的溫度。活性氣退火機能夠保持高溫輪廓，提供整個腔室的精確均勻性，從而產生更高的吞吐量。8SD還配備了大型立式加熱器、高均勻性絕緣、耐高溫氧化鋁元件，讓用戶最大限度地提高生產力，獲得高質量的退火效果。該8SD還具有多功能工藝控制器，對溫度和工藝條件提供高精度和高度靈活的控制。該8SD還提供了七事件可編程計時器、N型熱電偶和操作日誌。總體而言，TEL Alpha 8SD是一種獨特且具有成本效益的帶有附件的擴散爐。該8SD具有精確的溫度控制、整室均勻性、耐高溫性能以及最大限度地提高退火收率的能力，是半導體工業的寶貴補充。
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