二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293776299 待售

ID: 293776299
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Furnace, 8" Process: O2 Anneal, dry oxide Wafer shape: SNNF Wafer cassette: Plastic, 8" (150) Product wafers Gas capabilities: N2, O2 TS4000Z System controller (5) Zone heaters Paddle control thermocouple Reserved batch operation Place of control T/C: Between outer tube and inner tube (5) End effectors Maximum temperature: 1100°C No SMIF Interface No N2 Load lock No boat rotation 1997 vintage.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SD擴散爐是半導體工業中一種不可思議的可靠和性能驅動的串聯生產擴散爐。它為客戶提供了一個強大而高效的熱處理解決方案。這種擴散爐將為用戶提供比其前代產品更高的吞吐量和吞吐量一致性。它還專門設計用於處理200毫米至6英寸的多個晶圓尺寸,而無需手動調整或停機。TEL Alpha 8SD擴散爐使用先進的熱處理技術進行擴散和氧化,最高可達1000 °C。它有一個超緊湊的設計,允許它占用最小數量的空間。這使得它非常適合高密度生產線。多個晶圓大小的處理選項允許用戶根據需要輕松擴展吞吐量。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D擴散爐具有強大的獨立分布系統,包括單流動力源。這樣可以輕松處理高溫和高功率應用,同時保持一致的工藝參數。高性能的向後系統也保證了均勻性,實現了全程精確的熱控制。這樣可以實現更快的處理時間和更好的結果。該爐還配備了一系列先進的加熱元件和冷卻選項。直接加熱晶片支持和超低熱循環允許快速熱斜坡速率。先進的冷卻選項有助於防止晶片對晶片的汙染。此外,高級控制功能確保了過程中的重復性和高精度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D擴散爐還配備了一個50步可編程存儲器,可存儲多達50種不同應用操作的工藝配方。它附帶了一個基於Windows的PC專業套件軟件,用於流程開發和控制。用戶友好的環境允許簡單的配方輸入和可重復的過程。用戶還可以為文檔和可追蹤性生成流程報告。總之,來自TEL/TOKYO ELECTRON (TEL)的Alpha 8SD擴散爐是半導體工業中一種不可思議的可靠和性能驅動的串聯生產擴散爐。它為客戶提供了一個強大而高效的熱處理解決方案。該擴散爐將為用戶提供更高的吞吐量和吞吐量一致性。這款擴散爐具有一系列先進的加熱元件和冷卻選項、可編程內存以及基於Windows的PC專業套件軟件等附加功能,是高密度生產線的絕佳選擇。
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