二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293600349 待售
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ID: 293600349
優質的: 2000
Furnace, parts machine
(2) TOSHIBA Induction motors
Motor power supply: 480 V, 60 Hz, 3 Phase
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Cabinet for Alpha 8SE-E是專門設計用於生產半導體器件的擴散爐及配件。它具有先進的溫度控制和精確的功率輸入能力，以確保晶圓的最佳處理。該設備采用重型不銹鋼框架結構，采用厚壁雙壁隔熱材料，在整個腔室內保持均勻溫度。它還配備了優化的催化劑燃燒器控制模塊，以確保均勻高效的加熱輪廓。該系統包括可編程邏輯控制器（PLC）等多種尖端組件,可精確控制多個參數和自動故障恢復功能。高度可配置的加熱室使用戶能夠為各種半導體應用程序定制設置。該爐還包括先進的安全功能，如緊急傳感器，用於檢測室內過量溫度並相應關閉設備。TEL Cabinet for Alpha 8SE-E采用垂直設計,可實現高吞吐量和高效運行。它還配備了可移動的底部，便於維護和清潔。集成LDF（低擴散通量）技術提供了對擴散過程的全面控制，確保了最佳的基板表面均勻性和清潔度。此外,該機器的設計符合現代晶圓制造工藝以及ESD（靜電放電）保護準則。Alpha 8SE-E還具有一個大工作區,可連接多個工具,並且可以從一個中心位置輕松操作。此外,此工具還包括多個接口,用於與外部系統接口,從而在生產過程中提供更大的靈活性。該爐還提供可選的軟件包,用於手動或自動操作。最後，用戶受益於一個集成的氮氣凈化工具包，以保護他們的產品免受氧化損傷。總體而言，TOKYO ELECTRON Cabinet for Alpha 8SE-E是一種先進的擴散爐，具有一系列功能，旨在最大限度地提高半導體生產設施的效率、安全性和靈活性。它配備了尖端技術,以確保精確的熱量調節、自動故障恢復以及符合現代安全標準。Alpha 8SE-E擁有多種可配置選項,為任何高性能半導體生產環境提供了最佳解決方案。
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