二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293652592 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E是一種高端擴散爐，為各種制造和研究過程提供可靠高效的晶體沈積。該擴散爐旨在為各種材料提供高質量的沈積結果，包括矽（Si）和其他半導體材料。它具有兩個用於加熱、冷卻和壓力調節的獨立腔室。加熱室的溫度範圍高達1000攝氏度，而壓力室可以從1到760 torr進行調節。其雙腔室設計為半導體沈積和外延提供了高效可靠的設備。TEL Alpha 8SE-E擴散爐裝有冷凍室，使低溫操作和超過1300攝氏度的高溫操作成為可能。它還有一個GSP（氣體供應面板）和EMG（電子槍供應）系統，使電子束能夠操作，允許精確和最新的半導體處理。為了優化生產過程，爐子裝有PMC（過程監控控制器），用戶可以在運行時監控和控制設備。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E擴散爐配備了一系列特種配件.其中一個比較流行的是電子束調諧器EVTX，它具有可調、精確的電子束蝕刻電流控制。與手動技術相比,此調諧器可實現更快、更精確、更少浪費的蝕刻。DVT-21（擴散真空調諧器）-20監測爐內壓力，並保持必要的真空水平以進行最佳處理。設計了IF6-21（智能爐機）20,利用各種配方參數自動優化沈積速率。其他附件包括DAT-21（擴散分析工具），該工具配有自動放大器和真空端口，能夠精確分析爐內溫度和壓力。Alpha 8SE-E還與GeoLab軟件兼容，該軟件允許用戶輕松控制和監控參數。此外，該擴散爐還配有石墨加熱元件和石英高溫計，可精確定位溫度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E擴散爐是需要晶體沈積或其他材料加工的工業和研究應用的絕佳選擇。其高端組件和廣泛的附件使此設備非常適合需要嚴格控制的精密過程。與其他方法相比，它的雙室設計和特定的附件可以提供更高的準確性和更快的結果。