二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293652593 待售

ID: 293652593
優質的: 1999
Furnace 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E是一種革命性的擴散爐,配有各種各樣的配套配件。該擴散爐具有快速、快速的熱加熱和處理能力,對於高效、高效的沈積過程至關重要。TEL Alpha 8SE-E是一個多功能的晶片加熱器和沈積平臺,具有旋轉運動,允許緊密和均勻的處理溫度。利用節能電機和精確的溫度控制,TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E可以提供更高精度的結果,並實現更快的通量。Alpha 8SE-E在短短幾秒鐘內達到高達500 °C的溫度,並且可以在整個過程中保持高度精度的溫度。通過使用節能電機,TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E能夠快速加熱和冷卻,從而提高生產率和吞吐量。TEL Alpha 8SE-E的設計可提供多種沈積選項,同時仍能提供精確和精確。這是通過使用旋轉和線性運動的組合在處理溫度內創建均勻性來實現的。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E是一個集成良好的設備,有一個全自動晶圓清洗站,為更高的成品晶圓產品質量。此外,此系統還包括高效的後處理解決方案B&H 6000清潔單元。這臺機器與所有晶片尺寸兼容,能夠以高度的精度和效率對晶片進行整修和拋光。此外,B&H 6000的設計目的是完全修復晶片的背面,消除沈積過程早期階段產生的任何潛在應力。為了監測各個階段的過程,Alpha 8SE-E配備了各種傳感器和溫度控制功能。在沈積過程中,溫度傳感器位於整個工具中,用於檢測一般溫度和晶圓溫度的變化。通過監測這些變化,資產能夠確保沈積過程中整個晶片的溫度均勻。此外,還在爐子周圍安裝了監視器,以創建有效的溫度曲線。這樣可確保加熱器腔室內的溫度均勻,從而確保成品晶片表面上的均勻性更高。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E擴散爐是半導體行業的寶貴資產,在節能平臺上提供精確度和統一性。通過使用旋轉和線性運動,以及一些伴隨的附件,這一模型徹底改變了晶圓的處理和處理方式。
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