二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293821901 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E是專門為先進半導體器件制造而設計的精密晶圓加工技術設備。該系統包含了幾個關鍵的工藝組件，為晶圓制造創建了一個全面的自動化處理解決方案。該裝置的核心是擴散爐，它為半導體器件提供了一系列高精度處理能力。它可以在不同溫度下使用，能夠制造出熱穩定性高、總壓力控制嚴密、源顆粒密度均勻的零件。其烘烤速率和時間可以預先編程以匹配特定的配方，而其溫度均勻性保持在7°C ±，以最大程度地減少熱梯度對基板的影響。該機還采用冷墻設計，使底壁保持恒定溫度，以限制劑量長期氧化的影響。此外，該爐設計良好的預熱裝置可確保準確的熱剖面並保護工藝氣體免受預熱損壞。TEL Alpha 8SE-E中使用了其他流程組件,以最大限度地提高生產效率並創建自動化的高質量流程結果。高性能自動加載工具可確保快速可靠的基板傳輸,而自動化過程跟蹤資產（ATPS）可監視與每個基板過程配方關聯的數據。該型號配有各種配件，包括垂直和側面晶圓穿梭、烤盤適配器、石英器具支架、氣體產生設備和沈積套件工具，這些都是實現最佳性能和可重復性所必需的。此外,該設備的設計基於單層配置,並具有ISO認證的清潔room/ISO-600認證,有助於提高成本效率,同時還允許輕松維護和維修。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E為用戶提供了一個高效、自動化的基於擴散爐的生產頂級半導體器件的工藝系統。其堅固的組件、自動控制單元和附件提供了可靠的設備制造所需的穩定性和多功能性。