二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293817396 待售
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ID: 293817396
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Furnace, 8"
Process: D-POLY
L-Type system layout
SUS furnace front surface finish
VMM 40-101 heater
N2 load lock
LC750 O2 analyzer
WAVES main controller
Fujikin integrated gas system
Fujikin manual and air-operated valves
UNIT / UFC 1661 Mass Flow Controllers (MFC)
MKS Pressure Transducer (PT) sensors
MKS Digital Pressure Monitor (DPM)
Gas flow chart and operation panels
RIKEN KEIKI gas detector
Auto wafer aligner
Fork wafer presence sensor
Magnetic seal rotation
No process kit or vacuum pump
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z是專門為提供卓越加工性能而設計的擴散爐。它能夠為矽光伏電池、基板和其他半導體制造工藝產生最好的熱氧化。這種高質量、高成本效益的擴散爐具有幾個基本特點，使其適合許多不同的研究和工業應用。TEL ALPHA 8SEZ具有優異的熱性能,其最高工作溫度可達1150°C,最大加熱速率為4°C/秒,可實現快速、高質量的熱處理。該爐可在Batch和Continuous兩種不同的模式下運行，允許在不同的應用中具有靈活性。分批模式允許更均勻的溫度，整個腔室的熱梯度最小，而連續模式則允許精確的溫度控制，並在需要時快速加熱和冷卻。先進的設計包括六層矽化鉬加熱器，能夠提供高源均勻的溫度分布，在整個腔室內具有高熱均勻性。該爐還配有石英管加熱器和隔熱雙壁304不銹鋼室，具有優異的耐腐蝕性和高性能。這種獨特的設計允許低汙染水平,同時還能確保卓越的傳熱性能。由於它的實時自動化系統從頭到尾監控過程條件，它的操作很容易管理。為了進行精確控制,TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z具有數字PID控制環路,可連續監控溫度並將控制保持在± 1°的精度範圍內。此外,保護性塗層可以防止過程中的氧化,從而獲得更好的質量結果。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEZ還配有多種配件，如觀察窗口監視器、大型個體壓力控制、旋轉樣品穿梭機以及各種標本架。所有這些配件使熔爐在特殊研究和工業應用方面更加人性化和高效。這款擴散爐憑借其先進的設計、靈活性、精確的溫度控制以及多種附加配件而脫穎而出。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z是矽光伏電池、基板和其他半導體制造工藝的理想解決方案。
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