二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293820846 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z是一種擴散爐及附件，提供先進的氮化物沈積能力和精確的晶圓過程控制。憑借高效的設計和強大的工藝能力，TEL ALPHA 8SEZ非常適合采用III-V復合材料制造的纖薄先進半導體器件。TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z配備了獨特而強大的水平型多室設計。這使得高溫可達1200 °C,並且由於三區加熱的Crucible和Hot Zone設計而具有很高的工藝精度和可重復性,從而有望提高矽和復合半導體器件制造的效率。利用動態溫度控制特性進一步提高了高效工藝，提供了更均勻的溫度和沈積速率曲線。TEL Alpha 8SE-Z還具有雙重預熱和裝載選項,可確保爐具的高效運行和可靠性。通過利用熔爐的快速預熱模式，用戶可以減少加工時間，同時確保晶片盒上的最小熱應力。該系統還配備了一系列質量監測功能，如粒子測量和氣體分析，以及總氮成分探測器和端點監測系統。這確保了用戶能夠監控工藝參數並獲得快速反饋，從而更好地控制氮化物的應用。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z還提供了可選的用戶友好型圖形用戶界面，使用戶可以方便地管理自己的流程參數，查看數據日誌，還可以輕松監控設備狀態。該控制器還實現了爐子系統的網絡連接,這意味著用戶可以遠程訪問和管理其設備,並輕松監控和排除其流程。總體而言，ALPHA-8SE-Z是一種高效、強大的擴散爐，可提供精確的晶圓工藝控制和最佳的氮化物沈積。通過配備一系列先進的特性、質量監控系統和便捷的網絡連接，這臺機器有助於提供可靠和高純度的氮化物沈積，具有更高的準確性和可重復性。