二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #9186048 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z是專門為半導體晶圓加工制造而設計的擴散爐及配件設備。它是一個可以從頭到尾處理8英寸（200毫米）晶片的臺式獨立系統。該裝置設計為提供優越的質量傳輸、均勻的工藝溫度和快速的晶圓周轉時間。TEL ALPHA 8SEZ裝有全鋁、低熱質量、低熱導率的爐膛。這個腔室提供了最大的重復性和嚴密的溫度控制.集成了具有高精度數字流量控制器的雙區氣體控制機，為爐子作業輸送高純度氣體。該工具還具有石英冷墻和可調節噴嘴，用於預熱和風機加熱。噴嘴是可調的，以適應不同的晶圓尺寸和達到精確的溫度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z專為處理8英寸（200毫米）晶圓而設計，具有最大的重復性和控制性。資產具有燒結、退火、快速熱處理、氧化物形成等工藝能力。頂部加載和卸載模型是自動化的，以提供快速晶圓處理與最小的操作幹預。工藝室與控制器隔離，工藝堆棧配有雙密封，防止環境汙染物侵入。TEL Alpha 8SE-Z支持連接主要設備的多個附件和第三方組件的集成。與TEL原位過程光譜監測（PMX）兼容。它還與TIM（熱成像模塊）兼容,用於可視化樣品溫度和工藝區域。系統可配置為使用自動執行沈積過程。它還與CVD和PVD系統兼容，以實現摻雜劑添加、摻雜劑氧化、表面氧化等額外的工藝步驟。為確保最佳操作，TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z配備了一套廣泛的工藝參數，可以通過觸摸屏界面進行編程。過程參數是完全可編輯的，並且該單元與幾個統計過程控制系統兼容。該機器運行在軟件上，該軟件結合了用戶友好、現代的界面，具有出色的圖形和直觀的功能。還結合了工具備份和日誌記錄,以實現數據安全性和可追蹤性。TEL ALPHA 8 SE Z是一種可靠、高效、現代化的擴散爐，具有先進的特性和配件，用於半導體晶圓的加工和制造。它旨在提供高可重復性、均勻的工藝溫度和具有競爭力的價格的快速晶圓周轉。