二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #9395874 待售
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ID: 9395874
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
CVD Furnace, 8"
Process: Co-SiN Low pressure CVD
Wafer shape: Notch
Wafer cassette: Plastic miraial, 8"
SMIF Interface
Cassette I/O Port / SMIF
Cassette transfer
(12) Cassette stockers
(9) Cassette stockers: I/O Side
Boat elevator: Cap rotation
Wafer transfer: 1 + 4 Pitch conversion
Pass box transfer stage
Auto shutter: Full close
Furnace body:
Heater chamber: VMM-40-101, 500 - 1000℃
Furnace stand: N2 L/L
Water cooling piping
Scavenger
Cable duct
Gas system:
Gas unit: SiN
Vacuum piping
Temperature controller unit
Analyzer unit: N2 L / L O2 Thermometer
N2 Purge box: Half size F/Box
MFC:
FC-786Y-B-TC: N2 20SLM
FC-786Y-B-TC: N2 5SLM
FC-786Y-B-TC: N2 1SLM
FC-985Y-B1: NH3 2SLM
FC-985Y-B1: SiH2Cl2, 200SCCM
SEC-7340RC-204-4CR: N2 10SLM
PCV-1000-3C
FC-772C-6V: N2 200SLM
MFM: FM-865-B1-TC: SiH2Cl2 200SCCM
FM:
FM1/2: P-821-4A-6F-V2-M-N2-30L-2M
FM3: P-821-30-6F-V2-M-N2-10L-K1.0
P-510-LO-6N-S3-N2-200L
P-510-LO-6N-S3-N2-100L
P-823-40-6F-S2-S-N2-60L-SP
Control system:
WAVES
M560 Temperature controller
Gas flow chart panel with remote
Man machine interface with remote
Signal tower
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z是一種用於各種半導體制造工藝的擴散爐及配件。這種擴散爐是一種全自動的高溫燃氣爐，設計用於提供精確的溫度控制和均勻性。先進的熱結構在整個加熱區提供均勻的溫度分布，達到均勻精確的效果。TEL ALPHA 8SEZ的溫度範圍在300°C至1350°C之間,最高溫度變化± 4.°C。該爐設計用於在半導體基板的整個垂直切片上借助一系列加熱元件進行均勻加熱。該爐配備了創新的熱力設計、高性能的供氣設備、先進的控制系統、量身定制的周邊設備等幾個特點。這些特性有助於熔爐的高工藝吞吐量和可重復性。氣體供應裝置的設計是為了提供優化的氣體混合和減少由於氣體成分的快速變化對加熱元件的熱沖擊。這使得TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z從退火到擴散的各種熱過程的理想選擇。先進的控制機器允許在加熱階段和冷卻階段之間同步進行精確的溫度控制。控制工具還可以針對用戶的特定需求進行定制，如自動過程調整和配方優化。量身定制的外圍設備使爐子能夠快速、方便地融入現有生產線。除了出色的散熱性能外，Alpha 8SE-Z還設計了多種內置安全系統和防爆結構，以滿足安全標準。它還配備了整體法拉第籠、電阻測量單元（RMU）和磁芯傳感器（MSC），以保護微芯片免受外部磁性幹擾。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z是業界領先的擴散爐，旨在為各種半導體工藝提供精確的溫度控制和均勻性。ALPHA-8SE-Z具有高性能、安全標準和整體配件，是任何尋找可靠擴散爐產品的半導體制造工廠的絕佳選擇。
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