二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS #293590975 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZANRS擴散爐及相關配件為在半導體、光電和光伏行業的高端應用提供了一種成本效益高、可靠的原位和異地工藝實施方法。TEL Alpha 8SE-ZANRS是一種通用的高溫擴散爐，在高達1000 °C的溫度下運行，非常適合進行氧化、氮化、還原、焦耳加熱和燒結過程。該爐被封閉在一個寬敞、低壓、高真空的室中，該室配有一個改進的石英反射器，該反射器提供均勻的熱強度和均勻分布在整個室的內表面。整個腔室還設計了極短的退火循環時間，以盡量減少材料毛刺和汙染。此外，由於其強大的溫度控制系統和多區加熱，TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZANRS可以保持穩定，並能長時間保持正常溫度。Alpha 8SE-ZANRS的外殼由重型不銹鋼建造而成，旨在防止外部來源的汙染。該爐利用一系列附加配件來補充其標準特性，包括控制器和加熱元件、防止燈意外損壞的特殊燈罩、用於確定氧化、氮化和還原程度的晶圓檢測器以及用於產生必要反應性氣體的氣體混合器。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZANRS的技術特點包括最大載荷能力9公斤的載荷鎖、15厘米腔深的石英船和0.02毫升/分鐘至10毫升/分鐘流量的氣室。它還有一個多區加熱系統，可調範圍為0-100%，最多8個區，而高頻電源（300-400 kHz）則內置在燈殼內，用於快速加熱。總之，TEL Alpha 8SE-ZANRS擴散爐及相關配件為高端半導體、光電和光伏應用提供了可靠、經濟高效的解決方案。這款高溫爐結構堅固、安全特性多樣、溫度範圍可調、退火周期長，非常適合生產保質期長的優質產品。