二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS #293590992 待售

TEL Alpha 8 SE-ZANRS是為高溫半導體加工而設計的擴散爐及配件。Alpha 8 SE-ZANRS由爐室、熱循環控制單元和加熱元件組成。它能夠承受高達2000攝氏度的溫度，使其適合各種材料，包括鋁、銅、鎢和矽。Alpha 8 SE-ZANRS具有多種真空控制系統，包括快速疏散系統、三維掃描真空控制系統和熱墻拖車。這些特性使得Alpha 8 SE-ZANRS成為生產IC、LED和其他半導體器件的理想器件。它能夠處理8英寸乘8英寸的基材尺寸。為了有效運行，Alpha 8 SE-ZANRS配備了氣體輸送系統，允許精確控制氣體成分和流量。該裝置包括三個獨立的氣體出口，每個出口都有自己的流量控制端口。氣體從加熱元件泵送到基板，控制熱循環。一個exter