二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS #293590988 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS是為半導體制造而設計的擴散爐及配件設備。它具有亞微米模式和導電金屬沈積的能力。該系統具有隔熱室和可調節的進氣口和排氣口。它的大腔室尺寸和高效的溫度控制可以滿足極高的細節過程,如3D結構,雙級金屬化,以及高長寬比的氛圍。該單元可以加工直徑達8英寸的晶片。此外,其強大的數控運動機提供了精確控制擴散過程所有方面的能力。TEL Alpha 8SE-ZVANS擴散爐提供超高溫精度和可靠性。其自動化計算機控制工具(CCS)可以在整個擴散過程中精確維護和監控溫度、壓力和其他參數。它使用先進的隔熱材料來維持整個腔室的穩定溫度。特殊的溫度控制資產和可編程閥門能夠準確控制沈積、退火和摻雜。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS擴散爐帶有一個全自動轉移模型,以移動和降低負載到爐。它是為人體工程學和安全卸載而設計的,用於半導體器件的高通量。此外,它還配備了集成的矽片監測設備,以確保晶片不受汙染。Alpha 8SE-ZVANS擴散爐還包含一個鎖存器系統,能夠快速高效地裝卸晶片。它還提供了可調的背壓,以在整個擴散過程中保持一致的腔室條件。而且,它還集成了冷卻風扇,用於整個機組的快速冷卻。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS擴散爐及附件機的設計具有強大可靠的性能。它具有大的腔室尺寸、可調的溫度和壓力條件以及溫度均勻性,是先進半導體器件擴散的理想選擇。
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