二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS #293590991 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS是一種高度先進可靠的擴散爐設備，配有多種配件，以提高性能和可靠性。該系統采用先進的晶圓傳遞機器人，具有優異的均勻性和失真控制性能，是先進晶圓工藝的最佳解決方案之一。TEL Alpha 8SE-ZVANS采用水平配置的α-輻射擴散爐，具有卓越的均勻性和準確性。每個晶片的溫度分布均勻，中心溫度為1,200攝氏度，200毫米範圍內的溫度均勻度± 2 °C。另外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS的溫度均勻性可以由其先進的控制單元自動調節。該機還有一個內置氧化物氣體發生器（BOGG），可以提高氧化物沈積過程的重復性和準確性。BOGG的低壓等離子體源能夠精確控制氧化參數，使其成為提高溶膠-凝膠和CVD氧化物質量的寶貴資產。Alpha 8SE-ZVANS還具有熱板和快速加熱/冷卻板，在加工矽基板時允許更高的均勻性。除了工業領先的擴散爐外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS還提供各種量身定制的配件，以改進工具的操作。它配備了幾種提供卓越資產控制的晶圓處理設備，如用於精確晶圓定位的交流滾子臂、用於自動插入的晶圓裝載機，以及用於一次處理多達八個晶圓的ECF-Front機器人。最後，該模型還配備了改進硬件設備監控的最先進的軟件解決方案。這些解決方案包括AioSoft DB Suite和Aptio Analyze System,它們提供實時分析和有洞察力的晶圓信息,如溫度控制、均勻性和整體性能參數。總體而言，TEL Alpha 8SE-ZVANS是非常高效、可靠、精確的擴散爐單元，具有所有必要的特性和功能集成配件，以確保卓越的性能。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS憑借其優越的溫度均勻性、先進的氣體發生器、熱板等獨特配件，是先進晶圓工藝的理想解決方案。